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MEMS传感器接口ASIC集成技术 - 刘晓为,陈伟平
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2024-04-30 07:19:43
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  • 版权信息
  • 致读者
  • 国防科技图书出版基金第六届评审委员会组成人员
  • 《微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列》编写委员会
  • 序
  • 前言
  • 第1章 引言
    • 1.1 MEMS集成传感器
    • 1.2 MEMS传感器接口电路集成技术特点及发展现状
    • 参考文献
  • 第2章 微加速度计接口ASIC集成技术
    • 2.1 电容式加速度计接口电路
    • 2.2 集成压阻式加速度计接口电路
    • 2.3 集成压电式加速度计接口电路
    • 2.4 集成谐振式加速度计接口电路
    • 2.5 集成热对流式加速度计接口电路
    • 2.6 集成多轴加速度计接口电路
    • 参考文献
  • 第3章 微机械陀螺接口ASIC集成技术
    • 3.1 硅微机械陀螺
    • 3.2 石英微机械陀螺接口ASIC
    • 3.3 典型集成微陀螺产品及应用
    • 参考文献
  • 第4章 磁传感器接口ASIC集成技术
    • 4.1 各向异性磁阻传感器
    • 4.2 巨磁阻传感器
    • 4.3 巨磁阻抗传感器
    • 4.4 磁通门传感器
    • 参考文献
  • 第5章 MEMS压力传感器等接口ASIC集成技术
    • 5.1 集成压力传感器
    • 5.2 微（型）麦克风
    • 5.3 MEMS红外传感器及接口电路
    • 参考文献
  • 内容简介
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