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无驱动结构微机械陀螺及其应用 - 张福学,张伟
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2024-04-29 20:47:56
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  • 版权信息
  • 前言
  • 第一篇 无驱动结构机械陀螺
    • 第1章 无驱动结构机械陀螺的数学模型
    • 第2章 带速度负反馈的无驱动结构机械陀螺的精度
    • 第3章 在交变角速度条件下无驱动结构机械陀螺的性能
    • 第4章 无驱动结构机械陀螺的工具性和运行性误差
    • 第5章 无驱动结构机械陀螺实验研究
  • 第二篇 无驱动结构微机械陀螺
    • 第6章 微机械加速度计和微机械陀螺
    • 第7章 无驱动结构微机械陀螺的工作原理
    • 第8章 无驱动结构微机械陀螺的误差
    • 第9章 无驱动结构微机械陀螺相移
    • 第10章 无驱动结构微机械陀螺的静态性能实验
  • 第三篇 无驱动结构微机械陀螺的微机械加工技术
    • 第11章 电子材料及其加工处理
    • 第12章 MEMS用材料及其制备
    • 第13章 标准微电子工艺
    • 第14章 体微机械加工
    • 第15章 表面微机械加工
    • 第16章 MEMS的微立体平版光刻技术
  • 第四篇 无驱动结构微机械陀螺的应用
    • 第17章 信号处理
    • 第18章 飞行姿态控制系统
  • 参考文献
  • 作者简介
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