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惯性MEMS器件原理与实践 - [德]沃克尔·肯普(Volker Kempe)
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2024-04-30 09:19:33
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  • 版权信息
  • 译者序
  • 前言
  • 致谢
  • 说明
  • 第1章 绪论
    • 1.1 MEMS时期之前的概况
    • 1.2 应用与市场
    • 1.3 惯性MEMS器件的组成
    • 参考文献
  • 第2章 换能器
    • 2.1 各向异性材料特性、张量和旋度
    • 2.2 压阻式换能器
    • 2.3 压电换能器
    • 2.4 电容式换能器
    • 参考文献
  • 第3章 非惯性力
    • 3.1 弹簧
    • 3.2 阻尼力
    • 参考文献
  • 第4章 MEMS工艺
    • 4.1 惯性MEMS器件微加工技术
    • 4.2 晶圆键合
    • 4.3 工艺集成
    • 参考文献
  • 第5章 一级封装
    • 5.1 一级封装壳体
    • 5.2 一级封装技术
    • 参考文献
  • 第6章 电路接口
    • 6.1 检测电路—组成模块
    • 6.2 传感器接口
    • 6.3 数据转换器
    • 参考文献
  • 第7章 加速度计
    • 7.1 测量对象
    • 7.2 弹簧—质量块系统
    • 7.3 谐振加速度计
    • 7.4 梁式加速度计
    • 7.5 几种其他类型加速度计原理
    • 7.6 从单轴到六轴加速度计
    • 参考文献
  • 第8章 陀螺仪
    • 8.1 基本理论
    • 8.2 陀螺运动学
    • 8.3 陀螺的性能
    • 8.4 速率积分陀螺
    • 8.5 角速率陀螺
    • 8.6 陀螺结构
    • 8.7 非平面式MEMS陀螺
    • 8.8 多轴陀螺及6轴IMU设计思路
    • 参考文献
  • 第9章 测试与标定
    • 参考文献
  • 结束语
    • 参考文献
  • 中英文对照表
  • 内容简介
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